位移臺(tái)的參數(shù)解析

1.分辨率（最小位移）：位移臺(tái)的位移量，比如位移臺(tái)最小位移是5mm，那么如果輸入一個(gè)1mm的運(yùn)動(dòng)量時(shí)，位移臺(tái)無法運(yùn)動(dòng)

2.單向定位精度：也稱定位精度或絕對(duì)定位精度，指的是從基準(zhǔn)點(diǎn)開始，沿一方向、以一定間隔、在全行程內(nèi)依次進(jìn)行定位，分別計(jì)算各個(gè)定位點(diǎn)上的實(shí)測(cè)值與理論值之差，將差值作為單向定位精度。

3.重復(fù)精度：指的是從基準(zhǔn)點(diǎn)開始，沿同一方向，向某一位置反復(fù)定位多次，分別計(jì)算每次的實(shí)測(cè)值與理論值之差，將最大差值作為重復(fù)定位精度

4.正交性：沿X軸方向移動(dòng)，在Y軸上位移不變，X，Y軸位移量乘積為0，就是正交，如果產(chǎn)生偏移，則偏移的角度叫做正交性

5.負(fù)載能力：位移臺(tái)面的中央可承受的、可以以最大速度驅(qū)動(dòng)的重量值。分為水平負(fù)載、豎直負(fù)載和倒置負(fù)載，分別指臺(tái)面水平、豎直和倒置放置時(shí)的負(fù)載。

6.平面度：位移臺(tái)臺(tái)面不同位置處的高低差，將差值作為平行度。臺(tái)面靜止時(shí)，在臺(tái)面內(nèi)取若干測(cè)試位置，分別測(cè)試其距基準(zhǔn)平面的距離，其中差為靜態(tài)平行度。

7.速度：?jiǎn)挝粫r(shí)間位移改變量

8.加速度：?jiǎn)挝粫r(shí)間速度變化量

其他參數(shù)解析：

線性行程、分辨率、精度常用單位：厘米（cm）、毫米（mm） 、微米（μm） 、納米（nm） 

換算：0.1cm=1mm=1000μm=1000000nm

角度行程、分辨率、精度常用單位：度（°）、毫度（m°）、毫弧度（mrad）、微弧度（μrad）、角分（arcmin）、角秒（arcsec）

換算：1°=60arcmin=3600arcsec=π/180(0.0174533)rad=17.4533mrad=1745.33urad

負(fù)載常用單位：克（g）、千克（kg）、牛（N）

換算：1kg=1000g=9.8N